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    真空系统

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    三工位阴极转移系统

    产品特点

    • 该设备为国内首台套设备，是光电倍增管生产制造核心工艺装备，可同时完成3只20″倍增管阴极激活与转移、MCP清刷和铟封等关键工序，打破日本企业长期国际垄断地位。
    • 该设备是集高真空、高温及多种运动方式于一体的大型复杂真空系统，其生产制造的光电倍增管已用于江门中微子实验室和高海拔宇宙线观测站等微观粒子探测、高能物理研究领域。

    应用领域

    微观粒子探测、高能物理
    • 技术指标
    • 尺寸
    • 产品特性
    • 配件
    • 下载
  • 個封顶升力
    0-100N
    定位精度
    0.02°
  • 坡壳旋转速度
    0-3rpm
    电子枪组件平移运动速度
    0-500mm/min ,重复定位精度±1.5mm
  • MCP组件垂直运动速度
    0-500mm/min ,重复定位精度：±1.5mm
    阴极组件垂直运动速度
    0-500mm/min ,重复定位精度：±1.5mm
  • 温度均匀性
    ±2.5℃
    除气加热温度
    400℃
  • 工作真空
    5×10E-5Pa
    极限真空
    5×10E-6Pa
    文件名 类型 语言 日期 文件大小

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