• 尊龙凯时

    真空配套

    APC插板阀

    产品特点

    • 智能调节，控制简便快捷。
    • 质量稳定，抗干扰能力强。
    • 配置丰富，人机接口友好。
    • 一体设计，集成化程度高。
    • 安全可靠，低压直流供电。

    应用领域

    表面工程、能源科技、平板显示、IC制造、工业过程等领域
    • 技术指标
    • 尺寸
    • 产品特性
    • 配件
    • 下载
  • 接口法兰
    CF、ISO-F
    适用真空度范围
    1E5-1E6
  • 阀体漏率（Pa·m3/s）
     ≤1.3E-10
    开启压差
    <3000Pa
  • 耐烘烤温度
    ≤150℃（控制器Controller≤50℃）
    位置控制精度
    ±0.1%FS
  • 薄膜规信号
    0-10V DV
    控制器电压
    DC 24V
    文件名 类型 语言 日期 文件大小

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