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SBC-12 小型离子溅射仪

产品特点

  • 特殊密封结构，玻璃不易损坏
  • 操作方便，无需培训即可使用
  • 维护成本低，无需上门安装

应用领域

本仪器主要适用于扫描电镜镀覆导电膜，仪器操作简单方便，是样品制备所必备的仪器。适用的靶材：金、铂、铬、银、钛、铜、镍、金钯合金等。
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品特性
  • 配件
  • 下载
  • 真空系统
    两级直联旋片真空泵
    真空检测
    皮氏计
  • 真空保护
    配有微量充气阀，用于调节离子流的大小
    工作气体
    空气或氩气


    • 工作腔室：内径Ф100 x 130毫米
    • 载物台：小载物台直径Ф40毫米, 可同时放六个样品杯；大载物台直径Ф60毫米
    • 金靶尺寸：Ф58毫米


    文件名 类型 语言 日期 文件大小

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