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F-400/4500
F-400/4500
产品特点
抽速可达4500l/s,广泛应用于真空镀膜
性能稳定,使用寿命长,占用空间少
维护保养简单,方便操作
适用范围广,性能稳定
应用领域
科学研究
ITO镀膜
光学镀膜
装饰镀膜
平板显示
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技术指标
尺寸
产品特性
配件
下载
进气口法兰
DN400 ISO-K
排气口法兰(ISO-KF)
DN100 ISO-K
抽速速率(L/s)
N
2
:4500 He:3200 H
2
:2000 Ar:4200
压缩比
N
2
:5E7 He:1E3 H
2
:5E2 Ar:5E7
极限压强(Pa)
2E-6
最大连续前级压强(Pa)
100
最大前级压强(Pa)
N
2
:300
最大气载量(sccm)
N
2
:5500 He:4000 H
2
:3200 Ar:2100
额定转速(RPM)
15300
启动时间(min)
≤10
冷却方式
水冷
冷却水流量(L/min)
≥1
冷却水温度(℃)
≤25
电源电压(V AC)
DC24/AC220
最大功率(W)
≤1100
适配电源型号
FD-III
建议前级泵(L/s)
30
重量(kg)
118
文件名
类型
语言
日期
文件大小
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