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FJ-620(F)
FJ-620(F)
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配件
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进气口法兰
KF40&KF25
排气口法兰(ISO-KF)
KF25
测量范围(Pa)
1E-5~1E5
抽速速率(L/s)
N
2
:600 He:380 H
2
:240 Ar:580
压缩比
N
2
:1E9 He:1E4 H
2
:1E3 Ar:1E9
极限压强(Pa)
5E-5Pa
建议启动压强(Pa)
<10Pa
前级泵型号
RV6(default)
冷却方式
水冷/风冷
冷却水流量(L/min)
>1
冷却水温度(℃)
≤25
输入电压频率(V/Hz)
380±20/50
环境温度(℃)
水冷方式 Water cooling 5℃-40℃风冷方式 Air cooling 5℃-32℃
安装方式
垂直
适配电源型号
TCDP-II
外形尺寸L*W*H(mm)
550×690×956(LF口) 550×690×970(CF口)
重量(kg)
117
文件名
类型
语言
日期
文件大小
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